圧力計

シリコン・オン・サファイア技術、及びひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定する高精度、長期安定型の圧力センサです。測定目的により各種測定器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。

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シリコン・オン・サファイア技術を用いた直圧式センサ

サファイア(Al₂O₃単結晶)基板上にシリコン薄膜を形成(エピタキシャル成長)させたものです。このシリコン薄膜を用いたシリコン半導体ひずみゲージは、電気抵抗線そのものがサファイア基板に原子結合しており、物理的・電気的に極めて安定した理想的なセンサを構成します。H-IIAロケットに約60台/機採用されています。

自社製のひずみゲージを採用

長期安定性能に優れた自社製ひずみゲージを採用し、信頼性の高い高品質の製品を安定した供給力で提供しています。

製品データ

項目	内容
開発拠点	ミネベアミツミ株式会社センシングデバイス事業部 (日本)
製造拠点	ミネベアミツミ株式会社軽井沢工場 (日本) NMB-Minebea Thai Ltd. ロッブリ工場 (タイ) 上海美蓓亚精密机电有限公司西岑工場 (中国)
主要販売先	自動車メーカー、自動車部品メーカー、射出成形機メーカー、各種試験装置製造メーカー、計測機器(圧力計、流量計)メーカー、建設機器メーカー
生産開始時期	1974年