2024年

2024年8月28日

ミネベアミツミグループのミツミ電機、
±3.92kPaの圧力範囲を高精度（±1%FS）で測定可能な
超小型・低消費電力のデジタル出力圧力センサー「MMR920シリーズ」を発売

MEMS、AFEのコア技術に強みを持つミネベアミツミグループのミツミ電機株式会社（以下 ミツミ電機）は、このたび、「屋内機器の圧力の見える化」をテーマとした新製品として、±3.92kPaの圧力範囲を精度±1%FSで測定できる超小型・低消費電力のデジタル出力圧力センサー「MMR920シリーズ」を発売しました。

MMR920シリーズは、内部MEMSチップに感度を高める新MEMS構造を採用したほか、24bit⊿ΣADCを搭載し、高い実効分解能で圧力を正確に測定することが可能なセンサーです。空調設備、エアコン、換気扇等のフィルター目詰まりに起因する内圧変化や、医療機器等の呼気による微小な圧力変化を検知できます。
本センサーは、7mm☐という小型表面実装タイプのパッケージでありながら、湿気や粉塵等への耐性のある裏面受圧の新パッケージ構造のため、セット側の基板の小型化、設計工数の削減等に寄与し空調設備、医療機器のさらなる小型化に実現します。

特長・概要

• ① 感度を高める新MEMS構造を採用。ピエゾ素子に応力集中する構造とすることで、従来製品（MS901）に対し約4.59倍の感度を達成しました。
• ② 従来、表面実装タイプの小型パッケージでは実現が難しかったMEMSチップ裏面から受圧する構造を特許技術により実現しました。ノズル部からの湿気や異物の侵入に対する耐性を確保しつつ小型化を実現しています。
• ③ 内部に高性能24bit⊿ΣAFEを搭載し、高速応答と、高分解能（低ノイズ）を両立したセンサーを実現しました。
• ④ 出荷時にセンサーのばらつきや温度特性の補正をおこなうため、複雑なセンサー駆動/制御回路/補正は不要です。

※特許取得済み（特許第7352076号、特許第7323810号）

新MEMS構造

新パッケージ構造

主な用途

空調機器、エアコン、換気扇
CPAPや呼吸補助機などの医療機器
電子管楽器　等

製品写真

製品仕様

パッケージ：MEMS-12B
外形寸法：7.0×7.0×7.2（W×D×H） mm

MMR920　生産計画

製品関係お問い合わせ先	ミネベアミツミ株式会社 セミコンダクタ＆エレクトロニクス事業本部　半導体事業部　戦略技術部 Phone: 046-230-3470（部門代表） 製品サイト お問い合わせフォーム
報道関係お問い合わせ先	ミネベアミツミ株式会社　広報・IR室 Phone: 03-6758-6703 Fax: 03-6758-6718 E-mail: koffice@minebeamitsumi.com

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